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工学部/工学系研究科 トピックス

精密工学専攻 郭建麗さん(D3) が「2021年度 精密工学会 秋季大会学術講演会 ベストプレゼンテーション賞」を受賞されました

 

2021年9月27日、精密工学専攻 郭建麗さん(D3)が、「2021年度 精密工学会 秋季大会学術講演会  ベストプレゼンテーション賞」を受賞されました。



2021年度 精密工学会 秋季大会学術講演会  ベストプレゼンテーション賞
研究の新規性・発表内容、発表の構成・方法、適切な質疑応答において、優れた講演発表に対して贈呈される賞です。

受賞された研究・活動について
「アクリル定盤と水によるシリコンウエハー表面の平坦化」
本研究では、シリコンウエハー表面をアクリル定盤と水だけで平坦化できることを確認しました。AFMによる評価により原子レベルで平坦な表面を確認しました。本加工法は微粒子も薬品も用いない極めてクリーンな加工法です。

今後の抱負・感想
この度はこのような賞を頂けて、誠に光栄です。本研究の遂行において日頃より多大なるご指導とご協力を賜りました、三村秀和准教授や研究室の皆様には、この場を借りて厚く感謝申し上げます。本受賞を励みとして、研究活動により一層努めてまいります。