精密工学専攻 藤井 冴子さん（M1）が2024年度精密工学会秋季大会学術講演においてベストプレゼンテーション賞を受賞されました

2024年9月6日、精密工学専攻 高橋・道畑研究室 藤井 冴子さん（M1）が2024年度精密工学会秋季大会学術講演においてベストプレゼンテーション賞を受賞されました。

受賞された研究・活動について

「 蛍光膜厚測定を利⽤した微細表⾯形状計測（第⼆報）-焦点外からの蛍光の映り込み補正に向けた蛍光応答の調査-」
〇藤井 冴子, 吉川 元弥, 増井 周造, 道畑 正岐, 高橋 哲
2024年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集, G86, (pp.460-461). 岡山, 2024年9月4日～6日
近年、工業製品の微細化・高精度化に伴い微細表面形状計測技術の需要が高まっています。そこで、本研究では高速な面計測を可能とし、透明材料や急峻な平滑斜面を測定できる新しい表面形状計測手法として、蛍光膜厚分布測定を利用した新しい計測手法を提案しています。特に、本発表では、提案手法の水平計測特性を検証し、その分解能や光学伝達特性が測定に及ぼす影響を明らかにしました。

今後の抱負・感想
このたび、このような賞をいただき、大変光栄に存じます。同時に、これまで支えてくださった皆様に心より感謝申し上げます。今後も研究に一層励み、計測精度のさらなる向上や応用分野の拡大に向けて尽力してまいりたいと思います。

2024年度精密工学会秋季大会学術講演 Best Presentation賞：https://2024-09autumn.jspe.or.jp/bp-bo/