プレスリリース

2018.08.07

ガラスのレーザー加工を従来の5000倍の速さで実現~電子機器の高性能化・低コスト化に期待~:機械工学専攻 伊藤佑介(D3)、吉﨑れいな(M2)、宮本直之(M1)、杉田直彦教授

東京大学大学院工学系研究科機械工学専攻の伊藤佑介大学院生、杉田直彦教授らは、ガラスの微細精密加工を従来の5000倍の速さで実現するレーザー加工技術の開発に成功しました。
電子機器や光学機器の高性能化のためにガラス材料に微細加工を施す技術の開発が求められています。ガラス材料に微細加工を施す技術としてフェムト秒レーザー加工が注目されており、加工性能の向上を目指した研究が盛んに行われています。しかしガラスのフェムト秒レーザー加工には加工速度が極めて遅いという課題と加工時にクラックができるために精密加工が困難という課題が存在しており、実用化に大きな障壁がありました。
本研究グループは、フェムト秒レーザー光で瞬間的に形成した電子密度の高い領域に透過波長レーザー光を吸収させることで、従来技術の5000倍の加工速度を達成し、なおかつクラックの存在しない精密加工を実現しました。この技術はガラスに限らず多くの材料に適用可能であり、今後電子機器をはじめとする多くの製品の高性能化、低コスト化に貢献すると期待されます。

 

プレスリリース本文:/shared/press/data/setnws_201808071041048082732185_965825.pdf

Applied Physics Letters:https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.5027421