精密工学専攻 島村勇徳さん（D2）が「2021年度 精密工学会秋季 大会学術講演会 アドバンスト・ ベストプレゼンテーション賞」を受賞されました

2021年9月27日、精密工学専攻 三村研究室　島村勇徳さん（D2）が「2021年度 精密工学会秋季 大会学術講演会 アドバンスト・ ベストプレゼンテーション賞」を受賞されました。



2021年度 精密工学会 秋季大会学術講演会  アドバンスト・ベストプレゼンテーション賞
研究の新規性・発表内容、発表の構成・方法、適切な質疑応答において、優れた講演発表に対して贈呈される賞です。本賞は、過去に同様の基準で「ベストプレゼンテーション賞」を受賞した者の中で、より優れた発表を行った講演者に贈賞されます。

受賞された研究・活動について
「超小型KBミラーを用いた軟X線sub 50 nm集光システムの開発」
2 mm長と8 mm長のミラーで構成される超小型Kirkpatrick-Baezミラーは、焦点距離が最短2 mmと極端に短く、集光・顕微観察で利点が多いです。一方、曲率半径10 m以上だった従来のX線ミラーと異なり、超小型ミラーは曲率半径が150 mmと急峻な形状を持ちます。本研究ではこれらミラーを成膜法で作製しました。計測には走査型白色干渉計を用いました。修正加工によって形状誤差PV値が2.8 nmとなるミラーを作製し、軟X線用の高NAミラーとして従来に無い50 nm回折限界集光を実現しました。

今後の抱負・感想
学部4年生の秋に初めて研究内容を発表し、表彰を受けたのが本学会でした。その先に進むために時間はかかりましたが、研究の節目の発表で、思い入れある学会の栄えある賞に選出いただき、大変光栄です。これも日頃ご指導・ご支援いただく皆様のおかげです。まずは三村秀和准教授、木村隆志准教授に心からお礼を申し上げます。また、大橋治彦主席研究員、仙波泰徳主幹研究員、岸本輝様、竹尾陽子助教のご協力・ご指南あって初めて放射光実験を完遂できました。夏目光学株式会社には本実験に不可欠なガラス製基板を作製いただきました。ここに記して深甚の謝意を表します。