プレスリリース

2020.03.27

高精度回転楕円ミラーにより200 nmサイズの軟X線ナノビームを形成 ―タイコグラフィ法による軟X線ナノビーム診断法を確立― :精密工学専攻 竹尾 陽子(D3)、三村 秀和准教授ら

東京大学の三村秀和准教授と竹尾陽子氏、高輝度光科学研究センター(JASRI)の仙波泰徳主幹研究員、大橋治彦主席研究員らのグループは、高精度な回転楕円ミラーを用いた軟X線ナノビーム形成に成功しました。
X線を分析に用いると、形や構造だけでなく、材料の組成や化学状態の分析が可能となります。X線の中でも軟X線領域は、波長が約1 nm~10 nmであり、磁気材料、触媒材料、電池材料などの分析に用いられています。こうした軟X線を利用した分析技術の空間分解能や測定感度などの性能は、利用する軟X線ビームの「小ささ」と「強さ」によって決まります。
この研究では、高い集光効率を持つ高精度回転楕円ミラーにより、SPring-8の軟X線を200 nmサイズに集光することに成功し、さらに、タイコグラフィ法を用いて軟X線ナノビームの正確な診断法を確立しました。
本成果により、高精度ミラーを用いた軟X線ナノビームの利用による、さまざまな軟X線分析法の性能向上が期待されます。
本成果は、2020年3月26日に米国科学技術雑誌のApplied Physics Lettersにオンライン版で掲載されました。

プレスリリース本文:/shared/press/data/setnws_202003271056416979741832_559782.pdf

Applied Physics Letters : https://aip.scitation.org/doi/10.1063/1.5144932

 

Spring 8 :http://www.spring8.or.jp/ja/news_publications/press_release/2020/200326/

日本経済新聞:https://www.nikkei.com/article/DGXLRSP531756_W0A320C2000000/